在加工微小精密（mì）零件時，必須充分考慮到可能使裝配係統產（chǎn）生定位誤差的因素，控製裝配係統的定位精度。

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此外，當前（qián）獲得複雜微小精密零件的超精密加工方（fāng）法（fǎ）主要有兩種，一種是微機電係統技術(MEMS)，另外一種是從傳（chuán）統機械製造技術發展而來的微細製造技術。
無論采用哪種技術，都需要先進的測量裝置及（jí）方法，因為零件加工（gōng）精（jīng）度的提高對測量水平的提高具有嚴格的依賴性。
微小精密零件在結構形式、構件（jiàn）材料和加工工藝等方麵具有以（yǐ）下特點：
構成材料主要是金屬、合金或者複合（hé）材（cái）料等非矽材（cái）料，這些材（cái）料具有優秀的機械特性，如（rú）高強度、高硬度、耐磨損、抗過載、耐高溫或耐（nài）腐蝕等，能在惡劣工況條件下正常（cháng）工作。
微小精密零件（jiàn）廣泛存在於各種微小型係統（tǒng），包括框架（jià）、壁、腔體、軸、槽、輪、孔係等多種結構形式，市場（chǎng）需求量大。
指整體尺度在毫米級，很（hěn）難利用常規方法加工（gōng）的小型（xíng）零（líng）件。
以準三維或三維（wéi）的立體結構為主的結構形式，深寬比高或（huò）長徑比（bǐ）大。
結構複（fù）雜，空間緊湊，各個部件之間存在確定的連接、傳動或裝配關係，對形狀和位置的精度要求非常高，對於零件表麵的精（jīng）密度要求較低，不一定要納入（rù）納米級別。